收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 26112-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
微电路（L55/59）
微电路综合（L55）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院。
本标准主要起草人:胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥。
-
适用范围：
本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
相关标准
相关部门
-
起草单位：
大连理工大学
太原理工大学
西安交通大学
中机生产力促进中心
天津大学
中原工学院
-
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC
336)
-
主管部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC
336)
相关人员
关联标准
-
GB/T 6814-1986
半导体集成非线性电路系列和品种 模拟开关的品种
-
YD/T 3944-2021
人工智能芯片基准测试评估方法
-
GB/T 16523-1996
圆形石英玻璃光掩模基板规范
-
SJ/Z 11361-2006
集成电路IP核保护大纲
-
GB/T 4376-1994
半导体集成电路 电压调整器系列和品种
-
GB/T 34893-2017
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
-
GB/T 17940-2000
半导体器件 集成电路 第3部分:模拟集成电路
-
GB/T 14031-1992
半导体集成电路模拟锁相环测试方法的基本原理
-
GB/T 17023-1997
半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路 第二篇 HCMOS数字集成电路54/74HC、54/74HCT、54/74HCU系列族规范
-
GB/T 32816-2016
硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
-
GB/T 12844-1991
半导体集成电路非线性电路系列和品种 采样/ 保持放大器的品种
-
GB/T 16524-1996
光掩模对准标记规范
-
GB/T 36479-2018
集成电路 焊柱阵列试验方法
-
GB/T 13068-1991
半导体集成电路系列和品种 磁敏传感器用系列的品种
-
GB/T 35008-2018
串行NOR型快闪存储器接口规范
-
GB/T 16525-1996
塑料有引线片式载体封装引线框架规范
-
SJ/T 11700-2018
IP核质量信息描述方法
-
GB/T 14112-2015
半导体集成电路 塑料双列封装冲制型引线框架规范
-
GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件
-
GB/T 35011-2018
微波电路 压控振荡器测试方法
打开设置，点击
执行注册
