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GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语

Micro-electromechanical system technology - Terms
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 26111-2010
  • 名称：
    微机电系统（MEMS）技术 术语
  • 英文名称：
    Micro-electromechanical system technology - Terms
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2011-01-10
  • 实施日期：
    2011-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《紧固件 质量保证体系》等410项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
    本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学。
    本标准主要起草人:丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。
  • 适用范围：
    本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
    本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T2900.66—2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC60050-521:2002,IDT)
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 2900.66-2004
相关部门
  • 起草单位：
    清华大学 中机生产力促进中心 上海交通大学 中北大学 中国电子科技集团第13研究所
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
  • 主管部门：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
关联标准