收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

Micro-electromechanical system technology - Terms
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 26111-2010
  • 名称:
    微机电系统(MEMS)技术 术语
  • 英文名称:
    Micro-electromechanical system technology - Terms
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2011-01-10
  • 实施日期:
    2011-10-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《紧固件 质量保证体系》等410项国家标准的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类:
    电子学(31) 集成电路、微电子学(31.200)
  • CCS分类:
    电子元器件与信息技术(L) 微电路(L55/59) 微电路综合(L55)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
    本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学。
    本标准主要起草人:丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。
  • 适用范围:
    本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
    本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T2900.66—2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC60050-521:2002,IDT)
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 2900.66-2004
相关部门
  • 起草单位:
    清华大学 中机生产力促进中心 上海交通大学 中北大学 中国电子科技集团第13研究所
  • 归口单位:
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
  • 主管部门:
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 13067-1991 半导体集成电路系列和品种 石英电子钟表用系列的品种
  • GB/T 13062-1991 膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(可供认证用)
  • GB/T 14115-1993 半导体集成电路采样/保持放大器测试方法的基本原理
  • SJ/Z 11353-2006 集成电路IP核转让规范
  • GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
  • GB/T 36614-2018 集成电路 存储器引出端排列
  • GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
  • GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
  • GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
  • GB/T 14030-1992 半导体集成电路时基电路测试方法的基本原理
  • GB/T 15297-1994 微电路模块机械和气候试验方法
  • GB/T 13069-1991 半导体集成电路系列和品种 数控机床用系列的品种
  • GB/T 3434-1986 半导体集成电路ECL电路系列和品种
  • SJ/T 2406-2018 微波电路型号命名方法
  • GB/T 17572-1998 半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路 第四篇 CMOS数字集成电路 4000B和4000UB系列族规范
  • SJ/Z 11361-2006 集成电路IP核保护大纲
  • GB/T 13068-1991 半导体集成电路系列和品种 磁敏传感器用系列的品种
  • GB/T 15878-2015 半导体集成电路 小外形封装引线框架规范
  • GB/T 38762.3-2020 产品几何技术规范(GPS) 尺寸公差 第3部分:角度尺寸
  • GB/T 9424-1998 半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路 第五篇 CMOS数字集成电路4000B和4000UB系列空白详细规范
用户分享资源

GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

Micro-electromechanical system technolog...
上传文件
注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容,请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况,为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要,对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等,而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中,联系客服入驻

客服QQ: 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话:0379-80883238

电子邮箱:ocsyun@126.com