收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 25755-2010
  • 名称:
    真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
  • 英文名称:
    Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2010-12-23
  • 实施日期:
    2011-10-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类:
    流体系统和通用件(23) 真空技术(23.160)
  • CCS分类:
    机械(J) 通用机械与设备(J70/89) 真空技术与设备(J78)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    本标准由中国机械工业联合会提出。
    本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
    本标准起草单位:北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。
    本标准主要起草人:邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。
  • 适用范围:
    本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。
    本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。
    本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
    注: 本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
  • 引用标准:
    下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
    GB/T3163 真空技术 术语(GB/T3163—2007,ISO3529:1981,MOD)
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 3163
相关部门
  • 提出部门:
    中国机械工业联合会
  • 起草单位:
    沈阳真空技术研究所 北京中科科仪技术发展有限责任公司
  • 归口单位:
    全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
  • 主管部门:
    全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
相关人员
暂无
关联标准
  • ZB J 78013.2-1989 罗茨真空泵 技术条件
  • GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择
  • DB44/T 1827-2016 广东省液环泵溶媒回收机组技术条件
  • JB/T 6532-1992 直联旋片式真空泵型式与基本参数
  • ZB J 78013.3-1989 罗茨真空泵 性能测试方法
  • JB/T 10076-2013 冷阴极电离真空规管
  • ZB Y 284-1984 真空镀膜设备型号命名方法
  • JB/T 10550-2006 真空技术 真空烧结炉
  • JB/T 7250-1994 干燥技术术语
  • ZB J 78014.3-1989 往复真空泵 测试方法
  • JB/T 53014-1999 单级多旋片真空泵 产品质量分等
  • GB/T 4982-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分:夹紧型
  • JB/T 8105.2-1999 金属密封真空规管接头
  • GB/T 34878-2017 真空技术 阀门 漏率测试
  • JB/T 8945-1999 真空溅射镀膜设备
  • GB/T 30434-2013 电阻真空计通用技术条件
  • ZB J 78015.2-1989 立式涡轮分子泵 技术条件
  • GB/T 25752-2010 差压式气密检漏仪
  • JB/T 5410-1991 低真空电磁压差充气阀型式与基本参数
  • JB/T 11363-2013 箱式干燥器
用户分享资源

GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - ...
上传文件
注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容,请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况,为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要,对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等,而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中,联系客服入驻

客服QQ: 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话:0379-80883238

电子邮箱:ocsyun@126.com