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GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
流体系统和通用件（23）
真空技术（23.160）
】
-
CCS分类：
【
机械（J）
通用机械与设备（J70/89）
真空技术与设备（J78）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
本标准起草单位:北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人:邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。
-
适用范围：
本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。
本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。
本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
注： 本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
-
引用标准：
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T3163 真空技术 术语(GB/T3163—2007,ISO3529:1981,MOD)
相关标准
相关部门
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提出部门：
中国机械工业联合会
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起草单位：
沈阳真空技术研究所
北京中科科仪技术发展有限责任公司
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归口单位：
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC
18)
-
主管部门：
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC
18)
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