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GB/T 26307-2010 银靶
Silver target
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
其他有色金属及其合金（77.120.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。
-
适用范围：
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同）内容。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材（以下简称银靶）。其他用途的靶材也可参照使用。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T4135 银
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T11067 银化学分析方法
GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
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