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GB/T 26307-2010 银靶

Silver target
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言:
    本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
    本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
    本标准主要起草人:闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。
  • 适用范围:
    本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。
    本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T4135 银
    GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
    GB/T11067 银化学分析方法
    GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 4135 GB/T 6394 GB/T 11067 GB/T 15077
相关部门
  • 归口单位:
    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
  • 主管部门:
    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
  • 起草单位:
    北京有研亿金新材料股份有限公司
相关人员
暂无
关联标准