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GB/T 26307-2010 银靶
Silver target基本信息
- 标准号:GB/T 26307-2010
- 名称:银靶
- 英文名称:Silver target
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2011-01-14
- 实施日期:2011-11-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。 - 适用范围:本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。 - 引用标准:下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T4135 银
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T11067 银化学分析方法
GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
相关标准
- 引用标准:GB/T 4135 GB/T 6394 GB/T 11067 GB/T 15077
相关部门
- 归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
- 主管部门:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
- 起草单位:北京有研亿金新材料股份有限公司
相关人员
暂无
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