GB/T 26533-2011

俄歇电子能谱分析方法通则

General rules for Auger electron spectroscopic analysis

现行

国家标准

推荐性

2011-05-12

2011-12-01

暂无

实施公告【关于批准发布《化学试剂 氢氟酸》等192项国家标准的公告】

暂无

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:清华大学化学系。
本标准主要起草人:姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱（AES，Auger Electron Spectroscopy）的一般表面分析方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇
ISO/TR15969:2001 表面化学分析 深度分析 溅射深度的测量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)
ISO18116:2005 表面化学分析 表面分析样品的制备和固定方法指南(SurfaceChemicalAnalysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)
ISO18118:2002(E) 表面化学分析 AES和XPS均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因子使用指南(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensitivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)
ISO/TR18394:2006 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息来源(SurfaceChemical
Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)
ISO/TR19319:2003 表面化学分析 俄歇电子能谱和X 射线光电子谱 分析者对于横向分辨率、分析范围和样品观察范围的测定(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandXrayPhotoelectronSpectroscopy—
DeterminationofLateralResolution,Analysis Area,andSample
AreaViewedbytheAnalyser)
ASTM E1078—2002 表面分析中制样和装样的标准指南(StandsardGuideforSpecimenPreparationandMountinginSurfaceAnalysis)
ASTM E1829—2002 表面分析前样品处理标准指南(StandsardGuideforHandlingSpecimens
PriortoSurfaceAnalysis)

GB/T 22461-2008 ISO/TR 15969:2001 ISO 18116:2005 ISO 18118:2002(E) ISO/TR 18394:2006 ISO/TR 19319:2003 ASTM E1078-2002 ASTM E1829-2002

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

清华大学化学系