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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
Vacuum technology － Sputter-ion pumps
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
流体系统和通用件（23）
真空技术（23.160）
】
-
CCS分类：
【
机械（J）
通用机械与设备（J70/89）
真空技术与设备（J78）
】
-
行标分类：
描述信息
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