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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
Vacuum technology - Sputter-ion pumps
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
流体系统和通用件(23)
真空技术(23.160)
】
-
CCS分类:
【
机械(J)
通用机械与设备(J70/89)
真空技术与设备(J78)
】
-
行标分类:
描述信息
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