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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

Vacuum technology － Sputter-ion pumps
基本信息
  • 标准号：
    JB/T 4081-2011
  • 名称：
    真空技术 溅射离子泵
  • 英文名称：
    Vacuum technology － Sputter-ion pumps
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2011-12-20
  • 实施日期：
    2012-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2012年第2号(总第146号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 流体系统和通用件（23） 真空技术（23.160） 】
  • CCS分类：
    【 机械（J） 通用机械与设备（J70/89） 真空技术与设备（J78） 】
  • 行标分类：
    【 机械（JB） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
    本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    沈阳真空技术研究所 北京中科科仪技术发展有限责任公司
相关人员
暂无
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