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GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准与ASTM E2530—2006《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》(英文版)技术内容基本一致。
    考虑到我国国情,在采用ASTM E2530—2006时,本标准做了一些修改,有关技术性差异已编入正文中。附录A(规范性附录)中给出样品制备方法,附录B(资料性附录)中列出了本标准章条编号与ASTM E2530—2006章条编号的对照一览表,附录C(资料性附录)中给出了技术性差异及其原因一览表以供参考。
    本标准由中国科学院提出。
    本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
    本标准起草单位:国家纳米科学中心。
    本标准主要起草人:朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁。
  • 适用范围：
    本标准规定了利用Si（111）晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
    本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜，并且其z向放大倍率达到最大量级，即z向位移在纳米和亚纳米范围内，这是原子力显微镜用于检测半导体表面，光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
    本标准并未指出所有可能的安全问题，在应用本标准之前，使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    ISO25178-6:2010 产品几何量技术规范(GPS)表面结构 区域法 第6部分:表面结构测量方法分类(Geometricalproductsspecification—Surfacetexture:Areal—Part6:Classificationofmethods formeasuringsurfacetexture)
    ISO/IECGuide98-3:2008 测量不确定度表示指南(Uncertaintyofmeasurement—Part3:Guide totheexpressionofuncertaintyinmeasurement)
    ISO/TS21748:2004 测量不确定度评估的重复性、再现性和准确度评估的使用指南(Guidance fortheuseofrepeatability,reproducibilityandtruenessestimatesinmeasurementuncertaintyestimation)
相关标准
  • 引用标准：
    ISO 25178-6:2010 ISO/IEC Guide 98-3:2008 ISO/TS 21748:2004
  • 采用标准：
    ASTM E 2530-2006 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 （修改采用 MOD）
相关部门
  • 提出部门：
    中国科学院
  • 起草单位：
    国家纳米科学中心
  • 归口单位：
    全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
  • 主管部门：
    全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
相关人员
暂无
关联标准