收藏到云盘
纠错反馈

JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件

Transparent quartz glass devices for semiconductor
基本信息
  • 标准号：
    JC/T 181-2011
  • 名称：
    半导体用透明石英玻璃器件
  • 英文名称：
    Transparent quartz glass devices for semiconductor
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2011-12-20
  • 实施日期：
    2012-07-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
    本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中国建筑材料科学研究总院 中国建筑材料检验认证中心
相关人员
暂无
关联标准