收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
基本信息
-
标准号：
GB/T 28277-2012
-
名称：
硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
-
英文名称：
Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
-
状态：
现行
-
类型：
国家标准
-
性质：
推荐性
-
发布日期：
2012-05-11
-
实施日期：
2012-12-01
-
废止日期：
暂无
-
相关公告：
实施公告【关于批准发布《金属材料线材第1部分：单向扭转试验方法》等123项国家标准的公告】
-
-
阅读或下载
使用APP、PC客户端等功能更强大
-
网页在线阅读
体验阅读、搜索等基本功能
-
用户分享资源
来自网友们上传分享的文件
-
纸书购买
平台官方及网友推荐
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
微电路（L55/59）
微电路综合（L55）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中国电子科技集团第四十九研究所。
本标准主要起草人:张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、田雷。
-
适用范围：
本标准规定了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的要求和试验方法。
本标准适用于采用微电子工艺及相关微细加工技术制造的微小键合区的剪切和拉压强度测试。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T26111—2010 微机电系统(MEMS)技术 术语和定义
GB/T19022—2003 测量管理体系 测量过程和测量设备的要求
相关标准
相关部门
-
起草单位：
北京大学
中机生产力促进中心
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国电子科技集团第十三研究所
中国电子科技集团第四十九研究所
-
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC
336)
-
主管部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC
336)
相关人员
关联标准
-
GB/T 35004-2018
数字集成电路 输入/输出电气接口模型规范
-
GB/T 15877-2013
半导体集成电路 蚀刻型双列封装引线框架规范
-
GB/T 36479-2018
集成电路 焊柱阵列试验方法
-
GB/T 13062-1991
膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(可供认证用)
-
GB/T 4855-1984
半导体集成电路线性放大器系列和品种
-
SJ 20961-2006
集成电路A/D和D/A转换器测试方法的基本原理
-
GB/T 6800-1986
半导体集成音响电路音频功率放大器测试方法的基本原理
-
GB/T 14030-1992
半导体集成电路时基电路测试方法的基本原理
-
GB/T 14027.6-1992
半导体集成电路通信电路系列和品种 频率合成器系列品种
-
GB/T 4377-2018
半导体集成电路 电压调整器测试方法
-
GB/T 14025-1992
半导体集成电路门阵列电路系列和品种 ECL系列的品种
-
GB/T 26113-2010e
微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则
-
GB/T 17574-1998
半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路
-
SJ/Z 11361-2006
集成电路IP核保护大纲
-
SJ/T 11704-2018
微电子封装的数字信号传输特性测试方法
-
GB/T 6648-1986
半导体集成电路静态读/ 写存储器空白详细规范(可供认证用)
-
GB/T 36477-2018
半导体集成电路 快闪存储器测试方法
-
GB/T 26112-2010
微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
-
GB/T 4376-1994
半导体集成电路 电压调整器系列和品种
-
SJ/Z 11359-2006
集成电路IP核开发与集成的功能验证分类法
打开设置，点击
执行注册
