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GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定

Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 28632-2012
  • 名称：
    表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2012-07-31
  • 实施日期：
    2013-02-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《轮胎外缘尺寸测量方法》等46项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准采用翻译法等同采用ISO18516:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》。
    本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
    本标准起草单位:上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。
    本标准主要起草人:徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。
  • 适用范围：
    本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1 μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20 nm，小于1 μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50 nm的仪器。
    附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 22461-2008
  • 采用标准：
    ISO 18516:2006 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 起草单位：
    上海市计量测试技术研究院 纳米技术及应用国家工程研究中心
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
  • 主管部门：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
相关人员
暂无
关联标准