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GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution
基本信息
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标准号：
GB/T 28632-2012
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名称：
表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
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英文名称：
Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution
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状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2012-07-31
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实施日期：
2013-02-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《轮胎外缘尺寸测量方法》等46项国家标准的公告】
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分类信息
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ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
化工综合（G00/09）
基础标准与通用方法（G04）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准采用翻译法等同采用ISO18516:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准主要起草人:徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。
-
适用范围：
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1 μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20 nm，小于1 μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50 nm的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
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引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
相关标准
相关部门
-
起草单位：
上海市计量测试技术研究院
纳米技术及应用国家工程研究中心
-
归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC
38)
-
主管部门：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC
38)
相关人员
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