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GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
基本信息
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标准号:
GB/T 28632-2012
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名称:
表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
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英文名称:
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
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状态:
现行
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类型:
国家标准
-
性质:
推荐性
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发布日期:
2012-07-31
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实施日期:
2013-02-01
-
废止日期:
暂无
-
相关公告:
实施公告【关于批准发布《轮胎外缘尺寸测量方法》等46项国家标准的公告】
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分类信息
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ICS分类:
【
化工技术(71)
分析化学(71.040)
化学分析(71.040.40)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
化工综合(G00/09)
基础标准与通用方法(G04)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准采用翻译法等同采用ISO18516:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准主要起草人:徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。
-
适用范围:
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1 μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20 nm,小于1 μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50 nm的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
-
引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
相关标准
相关部门
-
起草单位:
上海市计量测试技术研究院
纳米技术及应用国家工程研究中心
-
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC
38)
-
主管部门:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC
38)
相关人员
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