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GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范

General specification of ion implantation equipment
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 15862-2012
  • 名称:
    离子注入机通用规范
  • 英文名称:
    General specification of ion implantation equipment
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2012-11-05
  • 实施日期:
    2013-02-15
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准代替GB/T15862—1995《离子注入机通用技术条件》。
    本标准与GB/T15862—1995相比主要变化如下:
    ———GBn193—1983由GB/T13384—1992代替;
    ———增加术语“注入角度”(见3.6)、“最大晶片传输效率”(见3.7),并在性能指标及测试方法中做相应要求(见6.4.6);
    ———环境温度调整为23℃±2℃;相对湿度规定范围30%~50%(见5.1.3);
    ———安全要求中增加“警示标识”的条款(见6.3.1);
    ———去掉表3、表4;
    ———均匀性测量增加了热波探针法测量条件和方法(见6.4.4.1b));
    ———重复性测量增加了批间重复性测量方法(见6.4.5.2);
    ———检验规则去掉例行检验项。
    本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。
    本标准由中国电子技术标准化研究所归口。
    本标准起草单位:中国电子科技集团公司第四十八研究所。
    本标准主要起草人:郭健辉、彭立波、罗宏洋。
    本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
    ———GB/T15862—1995。
  • 适用范围:
    本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
    本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T191 包装储运图示标志
    GB/T4857.7—2005 包装 运输包装件基本试验 第7部分:正弦定频振动试验方法
    GB/T5080.7—1986 设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案
    GB/T6388—1986 运输包装收发货标志
    GB/T13384—1992 机电产品包装通用技术条件
    GB18209.1 机械安全 指示、标志和操作 第1部分:关于视觉、听觉和触觉信号的要求
    SJ/T142 电子工业专用设备通用规范
    SJ/T1276 金属镀层和化学处理层质量检验技术要求
    SJ/T10674 涂料涂覆通用技术条件
相关标准
  • 代替标准:
    GB/T 15862-1995
  • 引用标准:
    GB/T 191 GB/T 4857.7-2005 GB/T 5080.7-1986 GB/T 6388-1986 GB/T 13384-1992 GB 18209.1 SJ/T 142 SJ/T 1276 SJ/T 10674
相关部门
  • 归口单位:
    中国电子技术标准化研究所
  • 主管部门:
    中国电子技术标准化研究所
  • 起草单位:
    中国电子科技集团公司第四十八研究所
相关人员
暂无