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YS/T 792-2012 单晶炉用碳/碳复合材料坩埚
Carbon-carbon composites crucible used in single crystal furnace
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
电气工程(29)
半导体材料(29.045)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
半金属与半导体材料(H80/84)
化合物半导体材料(H83)
】
-
行标分类:
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:湖南金博复合材料科技有限公司、洛阳单晶硅有限责任公司、上海九晶电子材料股份有限公司、常州天合光能有限公司。
本标准主要起草人:廖寄乔、邰卫平、王跃军、吴书哓、王文卫、史舸、戴瑞麟、黄振飞、李军、龚玉良、王丽、瞿雪林。
-
适用范围:
本标准规定了单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚的要求、试验方法、检测规则及标志、包装、运输、贮存、质量说明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚,也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶炼金属用碳/碳复合材料坩埚。
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引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T3074.4 石墨电极测定方法 石墨电极热膨胀系数(CTE)测定方法
GB/T5163 烧结金属材料(不包括硬质合金) 可渗性烧结金属材料 密度、含油率和开孔率的测定
GB/T22588 闪光法测量热扩散系数或导热系数
YB/T5146 高纯石墨制品灰分的测定
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