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YS/T 791-2012 铂靶

Platinum target
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 791-2012
  • 名称：
    铂靶
  • 英文名称：
    Platinum target
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2012-11-07
  • 实施日期：
    2013-03-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2013年第1号(总第157号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
    本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
    本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。
  • 适用范围：
    本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
    本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T1182 产品几何技术规范(GPS) 几何公差 形状、方向、位置和跳动公差标注
    GB/T1419—2004 海绵铂
    GB/T15077—2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 1182 GB/T 1419-2004 GB/T 15077-2008
相关部门
  • 起草单位：
    有研亿金新材料股份有限公司
相关人员
暂无
关联标准