收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 791-2012 铂靶
Platinum target
基本信息
-
标准号：
YS/T 791-2012
-
名称：
铂靶
-
英文名称：
Platinum target
-
状态：
现行
-
类型：
行业标准
-
性质：
推荐性
-
发布日期：
2012-11-07
-
实施日期：
2013-03-01
-
废止日期：
暂无
-
相关公告：
实施公告【2013年第1号(总第157号)】
-
-
阅读或下载
使用APP、PC客户端等功能更强大
-
网页在线阅读
体验阅读、搜索等基本功能
-
用户分享资源
来自网友们上传分享的文件
-
纸书购买
平台官方及网友推荐
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
其他有色金属及其合金（77.120.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。
-
适用范围：
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1182 产品几何技术规范(GPS) 几何公差 形状、方向、位置和跳动公差标注
GB/T1419—2004 海绵铂
GB/T15077—2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 772-2011
计算机散热器用铝及铝合金带材
-
YS/T 464-2019
阴极铜直读光谱分析方法
-
YS/T 4-1991
地行式气动打壳机
-
YS/T 1215-2018
N-烯丙基-O-异丁基硫代氨基甲酸酯
-
YS/T 239.4-2010
三硫化二锑化学分析方法 第4部分：王水不溶物的测定 重量法
-
YS/T 334-2009
铍青铜圆形棒材
-
GB/T 30075-2013
LED用稀土氮化物红色荧光粉
-
YS/T 63.5-2006
铝用碳素材料检测方法 第5部分：有压下底部炭块钠膨胀率的测定
-
YS/T 475.5-2005
铸造轴承合金化学分析方法 砷量的测定 砷锑钼蓝分光光度法
-
YS/T 1335-2019
扩散式锡锌铜粉
-
YS/T 797-2012
便携式锂离子电池用铝壳
-
YS/T 1015-2014
铜铟合金锭
-
GB/T 38513-2020
铌铪合金化学分析方法 铪、钛、锆、钨、钽等元素的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 568.2-2008
氧化锆、氧化铪化学分析方法 铁量的测定 磺基水杨酸分光光度法
-
YS/T 739-2010
铝电解质分子比及主要成分的测定 X射线荧光光谱法
-
YS/T 14-1991
导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
-
YS/T 677-2008
锰酸锂
-
YS/T 1492-2021
铂/二氧化钛
-
GB/T 4324.7-2012
钨化学分析方法 第7部分：钴量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 926-2013
高纯二氧化碲
打开设置，点击
执行注册
