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YS/T 791-2012 铂靶
Platinum target
基本信息
-
标准号：
YS/T 791-2012
-
名称：
铂靶
-
英文名称：
Platinum target
-
状态：
现行
-
类型：
行业标准
-
性质：
推荐性
-
发布日期：
2012-11-07
-
实施日期：
2013-03-01
-
废止日期：
暂无
-
相关公告：
实施公告【2013年第1号(总第157号)】
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分类信息
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ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
其他有色金属及其合金（77.120.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。
-
适用范围：
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1182 产品几何技术规范(GPS) 几何公差 形状、方向、位置和跳动公差标注
GB/T1419—2004 海绵铂
GB/T15077—2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
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