收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
其他有色金属及其合金（77.120.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司。
本标准主要起草人:高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎。
-
适用范围：
1.1 本方法规定了用椭圆偏振测试方法测量生长或沉积在硅衬底上的绝缘体薄膜厚度及折射率的方法。
1.2 本方法适用于薄膜对测试波长没有吸收和衬底对测试波长处不透光、且已知测试波长处衬底折射率和消光系数的绝缘体薄膜厚度及折射率的测量。对于非绝缘体薄膜，满足一定条件时,方可采用本方法。
-
引用标准：
暂无
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 1045-2015
装饰装潢用铜-钢复合薄板和带材
-
YS/T 856-2012
银粒
-
YS/T 22-2010
锑酸钠
-
YS/T 1050.1-2015
铅锑精矿化学分析方法 第1部分：铅量的测定 Na2EDTA滴定法
-
YS/T 1432-2021
锂盐单位产品能源消耗限额
-
YS/T 1342.4-2019
二次电池废料化学分析方法 第4部分：锂含量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 320-2007
锌精矿
-
YS/T 227.8-2010
碲化学分析方法 第8部分：镁、钠量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
XB/T 614.6-2011
钆镁合金化学分析方法 第6部分：铝、钙、铜、铁、镍、硅量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 648-2019
铜碲合金棒
-
YS/T 1462.1-2021
粗锡化学分析方法 第1部分：锡含量的测定 碘酸钾滴定法
-
YS/T 237-2021
选矿药剂产品分类、牌号、命名
-
YS/T 973-2014
电池集流体用黄铜线
-
XB/T 622.7-2017
稀土系贮氢合金化学分析方法 第7部分：铅、镉量的测定
-
GB/T 40798-2021
离子型稀土原矿化学分析方法 稀土总量的测定 电感耦合等离子体质谱法
-
GB/T 16661-2018
碳酸铈
-
GB/T 15076.15-2008
钽铌化学分析方法 氢量的测定
-
YS/T 1467.6-2021
铪化学分析方法 第6部分：磷量的测定
-
XB/T 802.2-2015
废旧稀土回收处理 第2部分：废弃荧光灯中稀土的回收技术要求
-
GB/T 12690.17-2010
稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 第17部分：稀土金属中铌、钽量的测定
打开设置，点击
执行注册
