收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
其他有色金属及其合金（77.120.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司。
本标准主要起草人:高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎。
-
适用范围：
1.1 本方法规定了用椭圆偏振测试方法测量生长或沉积在硅衬底上的绝缘体薄膜厚度及折射率的方法。
1.2 本方法适用于薄膜对测试波长没有吸收和衬底对测试波长处不透光、且已知测试波长处衬底折射率和消光系数的绝缘体薄膜厚度及折射率的测量。对于非绝缘体薄膜，满足一定条件时,方可采用本方法。
-
引用标准：
暂无
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 976-2014
煅烧α型氧化铝中α-Al2O3含量的测定 X-射线衍射法
-
YS/T 445.3-2019
银精矿化学分析方法 第3部分：砷含量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法和溴酸钾滴定法
-
YS/T 357-2015
乙硫氨酯
-
YS/T 1239-2018
高纯铪
-
YS/T 256-2000
氧化钴
-
YS/T 118.15-2012
重有色冶金炉窑热平衡测定与计算方法（吹炼转炉）
-
YS/T 372.22-2006
贵金属合金元素分析方法 铟量的测定 EDTA络合滴定法
-
YS/T 584-2006
电极材料用铬、锆青铜管件
-
YS/T 1487-2021
硬质合金螺纹喷嘴
-
YS/T 1341.4-2019
粗锌化学分析方法 第4部分：镉含量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 337-2021
硫精矿
-
XB/T 601.5-1993
六硼化镧化学分析方法 火焰原子吸收光谱法测定锰量
-
YS/T 1318.2-2019
硫酸四氨钯化学分析方法 第2部分：镁、铝、铬、锰、铁、镍、铜、锌、钌、铑、银、锡、铱、铂、金、铅、铋含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
-
YS/T 358.1-2011
钽铁、铌铁精矿化学分析方法 第1部分：钽、铌量的测定 纸上色层重量法
-
YS/T 509.9-2008
锂辉石、锂云母精矿化学分析方法 氟量的测定 离子选择电极法
-
YS/T 461.9-2013
混合铅锌精矿化学分析方法 第9部分：银量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 575.9-2007
铝土矿石化学分析方法 第9部分：氧化钾、氧化钠含量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 520.10-2007
镓化学分析方法 第10部分：锌含量的测定 原子吸收光谱法
-
YS/T 226.12-2009
硒化学分析方法 第12部分：硒量的测定 硫代硫酸钠容量法
-
YS/T 1223-2018
冶炼副产品 铅铊合金锭
打开设置，点击
执行注册
