收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
有色金属(77.120)
其他有色金属及其合金(77.120.99)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
有色金属及其合金产品(H60/69)
贵金属及其合金(H68)
】
-
行标分类:
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司。
本标准主要起草人:高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎。
-
适用范围:
1.1 本方法规定了用椭圆偏振测试方法测量生长或沉积在硅衬底上的绝缘体薄膜厚度及折射率的方法。
1.2 本方法适用于薄膜对测试波长没有吸收和衬底对测试波长处不透光、且已知测试波长处衬底折射率和消光系数的绝缘体薄膜厚度及折射率的测量。对于非绝缘体薄膜,满足一定条件时,方可采用本方法。
-
引用标准:
暂无
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 906-2013
电站空冷用铝合金复合带
-
YS/T 281.6-2011
钴化学分析方法 第6部分:镁量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
GB/T 23277-2009
贵金属催化剂化学分析方法 汽车尾气净化催化剂中铂、钯、铑量的测定 分光光度法
-
YS/T 63.16-2006
铝用碳素材料检测方法 第16部分:微量元素的测定 X射线荧光光谱分析方法
-
YS/T 623-2012
铝电解用石墨质阴极炭块
-
YS/T 1227.1-2018
粗碲化学分析方法 第1部分:碲量的测定 重量法
-
YS/T 834-2012
废铂重整催化剂烧失率的测定方法
-
GB/T 18115.7-2006
稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法 钆中镧、铈、镨、钕、钐、铕、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥和钇量的测定
-
GB/T 14634.1-2010
灯用稀土三基色荧光粉试验方法 第1部分:相对亮度的测定
-
YS/T 63.3-2016
铝用炭素材料检测方法 第3部分:热导率的测定 比较法
-
YS/T 956.1-2014
金锗合金化学分析方法 第1部分:锗量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
-
YS/T 408.2-2016
贵金属器皿制品 第2部分:银及其合金器皿制品
-
YS/T 409-1998
有色金属产品分析用标准样品技术规范
-
YS/T 63.9-2012
铝用炭素材料检测方法 第9部分:真密度的测定 氦比重计法
-
YS/T 1259-2018
锆合金管材表面氟离子含量的测定 分光光度法
-
XB/T 612.3-2013
钕铁硼废料化学分析方法 第3部分:硼、钴、铝、铜、铬、镍、锰、钛、钙、镁含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 1412-2021
钴冶炼企业单位产品能源消耗限额
-
YS/T 692-2009
钨酸
-
YS/T 1075.4-2015
钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第4部分:钒量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法和硫酸亚铁铵滴定法
-
GB/T 11064.13-2013
碳酸锂、单水氢氧化锂、氯化锂化学分析方法 第13部分:铝量的测定 铬天青S-溴化十六烷基吡啶分光光度法