YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

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Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies

基本信息

标准号：

YS/T 837-2012
名称：

溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
英文名称：

Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
状态：

现行
类型：

行业标准
性质：

推荐性
发布日期：

2012-11-07
实施日期：

2013-03-01
废止日期：

暂无
相关公告：

实施公告【2013年第1号(总第157号)】

分类信息

描述信息

前言：

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所。
本标准主要起草人:刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平。
适用范围：

本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
引用标准：

暂无