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YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
有色金属(77.120)
其他有色金属及其合金(77.120.99)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
有色金属及其合金产品(H60/69)
贵金属及其合金(H68)
】
-
行标分类:
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所。
本标准主要起草人:刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平。
-
适用范围:
本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等,该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
-
引用标准:
暂无
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