收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 819-2012 电子薄膜用高纯铜溅射靶材
High-purity sputtering copper target used in electronic film
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
铜产品（77.150.30）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
重金属及其合金（H62）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:宁波江丰电子材料有限公司、有研亿金新材料股份有限公司。
本标准主要起草人:王学泽、宋佳、高岩、尚再燕、赵永善、袁洁、熊晓东。
-
适用范围：
本标准规定了电子薄膜用高纯铜溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同（或订货单）内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯铜溅射靶材（以下简称高纯铜靶）。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GJB1580A 变形金属超声检验方法
YS/T347 铜及铜合金平均晶粒度测定方法
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检测方法
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 1410-2021
重有色冶金炉窑余热回收利用技术规范
-
GB/T 2059-2017
铜及铜合金带材
-
YS/T 691-2009
氟化镁
-
YS/T 1095-2015
铝用阴极炭块安全生产规范
-
YS/T 69-1993
纤接用铝合金板材
-
YS/T 74.9-1994
镉化学分析方法苯芴酮-溴代十六烷基三甲胺分光光度法测定锡量
-
GB/T 1470-1988
铅及铅锑合金板
-
YS/T 510-2012
镍包氧化铝复合粉
-
YS/T 63.8-2006
铝用碳素材料检测方法 第8部分：二甲苯中密度的测定 比重瓶法
-
YS/T 842-2012
石墨化阴极炭块用石油焦原料技术要求
-
YS/T 84-2006
光谱分析用铱基体
-
YS/T 562-2009
贵金属合金化学分析方法 铂钌合金中钌量的测定 硫脲分光光度法
-
YS/T 514.2-2009
高钛渣、金红石化学分析方法 第2部分：全铁量的测定 重铬酸钾滴定法
-
YS/T 1208.2-2017
双（乙腈）二氯化钯化学分析方法 第2部分：铅、镍、铜、镉、铬、铁、铂、金、铑量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 1057-2015
四氧化三钴化学分析方法 磁性异物含量测定 磁选分离-电感耦合等离子体发射光谱法
-
GB/T 1471-1988
铅阳极板
-
YS/T 690-2009
天花吊顶用铝及铝合金板、带材
-
YS/T 300-2015
锗精矿
-
YS/T 794-2012
钛种板
-
YS/T 23-1992
硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
打开设置，点击
执行注册
