• 当前位置：
    首页 规范标准 JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
收藏到云盘
纠错反馈

JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method
基本信息
  • 标准号：
    JC/T 2133-2012
  • 名称：
    半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
  • 英文名称：
    Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2012-12-28
  • 实施日期：
    2013-06-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2013年第2号(总第158号)】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 分析化学（71.040） 】
  • CCS分类：
    【 医药、卫生、劳动保护（C） 医药（C10/29） 解热镇痛、麻醉与中枢神经系统用药（C14） 】、
    【 化工（G） 无机化工原料（G10/14） 其他无机化工原料（G14） 】
  • 行标分类：
    【 建材（JC） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。
    本标准适用于半导体化学机械抛光（CMP）中抛光液用的各种硅溶胶。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中国科学院上海硅酸盐研究所
相关人员
暂无
关联标准
  • JC/T 2320-2015 水泥工业用电袋复合式除尘器
  • JC/T 1008-2018 玻璃用防发霉材料
  • JC/T 1077-2008 胶粉改性沥青玻纤毡与聚乙烯膜增强防水卷材
  • JC/T 2137-2012 红外辐射蜂窝陶瓷燃烧板
  • JC/T 2440-2018 镂花装饰石膏板
  • JC/T 2126.6-2012 水泥制品工艺技术规程 第6部分：先张法预应力混凝土管桩
  • JC/T 449-2008 镁质胶凝材料用原料
  • JC/T 723-2005 水泥胶砂振动台
  • JC/T 1074-2021 室内空气净化功能涂覆材料净化性能
  • HG/T 2571-1994 抛光膏
  • JC/T 2636-2021 建筑陶瓷行业绿色工厂评价要求
  • JC 435-1991 快硬铁铝酸盐水泥
  • JC/T 2475-2018 泡沫混凝土墙板、屋面板
  • JC/T 1088-2008 粒化电炉磷渣化学分析方法
  • JC/T 2245-2014 石英玻璃纤维纱
  • JC/T 2069-2011 中空玻璃间隔条 第1部分：铝间隔条
  • JC/T 775-2004 预浸料树脂流动度试验方法
  • SN/T 2005.4-2006 电子电气产品中多溴联苯和多溴联苯醚的测定 第4部分：气相色谱/电子捕获检测器法
  • JC/T 774-2004 预浸料凝胶时间试验方法
  • JC/T 596-1995 湿磨云母粉
用户分享资源

JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合...

Determination of impurities in silica so... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com