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GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
计量学和测量、物理现象（17）
光学和光学测量（17.180）
有关光学和光学测量的其他标准（17.180.99）
】
-
CCS分类：
【
综合（A）
计量（A50/64）
光学计量（A60）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由中国科学院提出并归口。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。
本标准主要起草人:黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一。
-
适用范围：
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。
本标准适用于0.01 nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T15000.3 标准样品工作导则(3) 标准样品 定值的一般原则和统计方法;
JJF1001 通用计量术语及定义;
JJF1059 测量不确定度评定与表示(ISOGUM:1995,IDT);
ISO18115 表面化学分析 名词,第2 部分:扫描探针显微镜适用术语(Surfacechemicalanalysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning—probemicroscopy)。
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