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YS/T 937-2013 镍铂靶材
Nickel-platinum target
基本信息
-
标准号：
YS/T 937-2013
-
名称：
镍铂靶材
-
英文名称：
Nickel-platinum target
-
状态：
现行
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类型：
行业标准
-
性质：
推荐性
-
发布日期：
2013-10-17
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实施日期：
2014-03-01
-
废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【2014年第1号(总第169号)】
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分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
其他有色金属产品（77.150.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。
本标准参加起草单位:宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉。
-
适用范围：
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
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引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
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GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
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