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YS/T 937-2013 镍铂靶材

Nickel-platinum target
基本信息
  • 标准号:
    YS/T 937-2013
  • 名称:
    镍铂靶材
  • 英文名称:
    Nickel-platinum target
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2013-10-17
  • 实施日期:
    2014-03-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
    本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。
    本标准参加起草单位:宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
    本标准主要起草人:朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉。
  • 适用范围:
    本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
    本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
    GB/T6394 金属平均晶粒度测定法
    GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
    GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
    GJB1580A 变形金属超声检验方法
    YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 1031 GB/T 6394 GB/T 14265 GB/T 15077 GJB 1580A YS/T 837
相关部门
  • 起草单位:
    有研亿金新材料股份有限公司 北京有色金属研究总院等
相关人员
暂无