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YS/T 937-2013 镍铂靶材
Nickel-platinum target基本信息
- 标准号:YS/T 937-2013
- 名称:镍铂靶材
- 英文名称:Nickel-platinum target
- 状态:现行
- 类型:行业标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2013-10-17
- 实施日期:2014-03-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:【 】
描述信息
- 前言:本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。
本标准参加起草单位:宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉。 - 适用范围:本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。 - 引用标准:下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
相关标准
- 引用标准:GB/T 1031 GB/T 6394 GB/T 14265 GB/T 15077 GJB 1580A YS/T 837
相关部门
- 起草单位:有研亿金新材料股份有限公司 北京有色金属研究总院等
相关人员
暂无
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