• 当前位置：
    首页 规范标准 YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
收藏到云盘
纠错反馈

YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

Standard guide for analysis and reporting the impurity content and grade of high purity metallic sputtering targets for electronic thin film applications
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 935-2013
  • 名称：
    电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
  • 英文名称：
    Standard guide for analysis and reporting the impurity content and grade of high purity metallic sputtering targets for electronic thin film applications
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2013-10-17
  • 实施日期：
    2014-03-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2014年第1号(总第169号)】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 有色金属产品（77.150） 其他有色金属产品（77.150.99） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 有色金属及其合金产品（H60/69） 贵金属及其合金（H68） 】
  • 行标分类：
    【 有色冶金（YS） 】
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准参照了ASTMF2113-01(2011)《电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量的分析及报告标准指南》。
    本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
    本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司。
    本标准主要起草人:张涛、何金江、丁照崇、万小勇、徐建卫、廖赞、尚再艳、王欣平、熊晓东、吕保国。
  • 适用范围：
    本标准规定了电子薄膜制备用高纯金属溅射靶材的纯度等级的定义方法、杂质含量分析方法、抽样规则及靶材纯度等级报告标准规范等内容。
    本标准适用于电子薄膜用各类高纯金属溅射靶材(以下简称靶材)。其他对纯度有较高要求的靶材纯度等级、杂质含量分析及报告规范也可参照使用。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
    GB/T20975(所有部分) 铝及铝合金化学分析方法
    GB/T29658 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
    YS/T871 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
    YS/T922 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 14265 GB/T 20975(所有部分) GB/T 29658 YS/T 871 YS/T 922
相关部门
  • 起草单位：
    有研亿金新材料股份有限公司
相关人员
暂无
关联标准
  • YS/T 1056-2015 高纯硫化镉
  • YS/T 261-2011 锂辉石精矿
  • YS/T 310-1995 热镀用锌合金锭
  • YS/T 953.6-2014 火法冶炼镍基体料化学分析方法 第6部分：钴量的测定 5-Cl-PADAB分光光度法和火焰原子吸收光谱法
  • YS/T 1442-2021 镍钴二元素复合氧化物
  • YS/T 1116.7-2016 锡阳极泥化学分析方法 第7部分：锑量的测定 硫酸铈滴定法
  • YS/T 1149.3-2016 锌精矿焙砂化学分析方法 第3部分：硫量的测定 燃烧中和滴定法
  • YS/T 698-2009 镁及镁合金铸轧板材
  • YS/T 922-2013 高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
  • YS/T 746.9-2010 无铅锡基焊料化学分析方法 第9部分：锌含量的测定 火焰原子吸收光谱法和Na2EDTA滴定法
  • YS/T 474-2021 高纯镓化学分析方法 痕量元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
  • YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
  • YS/T 300-2008 锗精矿
  • YS/T 492-2012 铝及铝合金成分添加剂
  • YS/T 77-2011 注射器针座用铅黄铜棒
  • YS/T 943-2013 硫酸钯
  • YS/T 539.10-2009 镍基合金粉化学分析方法 第10部分：钼量的测定 硫氰酸盐分光光度法
  • YS/T 21-1991 铝电解槽阳极升降机构技术条件
  • YS/T 881-2013 火法冶炼镍基体料
  • YS/T 276.10-2011 铟化学分析方法 第10部分：铋、铝、铅、铁、铜、镉、锡、铊量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
用户分享资源

YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报...

Standard guide for analysis and reportin... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
YS/T 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com