收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
High-purity sputtering titanium target used in electronic film
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
有色金属产品(77.150)
钛产品(77.150.50)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
有色金属及其合金产品(H60/69)
稀有轻金属及其合金(H64)
】
-
行标分类:
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司。
本标准主要起草人:何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东。
-
适用范围:
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
-
引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氧量、氮量的测定
GB/T4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定
GB/T4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T891 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 475.4-2005
铸造轴承合金化学分析方法 铜量的测定 硫代硫酸钠滴定法
-
YS/T 108-1992
重有色金属矿山生产工艺能耗
-
YS/T 10-2008
阳极焙烧炉用多功能机组
-
YS/T 655-2007
四氯化钛
-
YS/T 953.8-2014
火法冶炼镍基体料化学分析方法 第8部分:铁量的测定 三氯化钛还原-重铬酸钾滴定法
-
GB/T 38988-2020
损伤容限型钛合金板材
-
YS/T 1084.1-2015
粗硒化学分析方法 第1部分:金量的测定 火试金重量法和原子吸收光谱法
-
YS/T 309-2012
重熔用铝稀土合金锭
-
YS/T 997.1-2014
掺锑二氧化锡化学分析方法 第1部分:锡量的测定 碘酸钾滴定法
-
YS/T 575.16-2007
铝土矿石化学分析方法 第16部分:五氧化二磷含量的测定 钼蓝光度法
-
YS/T 477-2005
铜及铜合金化学分析方法 硼含量的测定 姜黄素直接光度法
-
YS/T 990.8-2014
冰铜化学分析方法 第8部分:砷量的测定 氢化物发生—原子荧光光谱法、二乙基二代氨基甲酸银分光光度法和溴酸钾滴定法
-
YS/T 1445.5-2021
镍钴铝三元素复合氢氧化物化学分析方法 第5部分:硫酸根离子含量的测定 硫酸钡比浊法
-
YS/T 53.2-1992
铜,铅,锌原矿和尾矿化学分析方法流动注射-8531纤维微型柱分离富集-火焰原子吸收光谱测定金量
-
YS/T 569.10-2015
铊化学分析方法 第10部分:铊量的测定 Na2EDTA滴定法
-
YS/T 675-2008
异丁钠黑药
-
YS/T 1495-2021
高纯铑化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
-
YS/T 79-2018
硬质合金焊接刀片
-
YS/T 1303-2019
硫酸氧钒
-
YS/T 349.1-2009
硫化钴精矿化学分析方法 第1部分:钴量的测定 电位滴定法