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YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

High-purity sputtering titanium target used in electronic film
基本信息
  • 标准号:
    YS/T 893-2013
  • 名称:
    电子薄膜用高纯钛溅射靶材
  • 英文名称:
    High-purity sputtering titanium target used in electronic film
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2013-10-17
  • 实施日期:
    2014-03-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【2014年第1号(总第169号)】
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分类信息
  • ICS分类:
    冶金(77) 有色金属产品(77.150) 钛产品(77.150.50)
  • CCS分类:
    冶金(H) 有色金属及其合金产品(H60/69) 稀有轻金属及其合金(H64)
  • 行标分类:
    有色冶金(YS)
描述信息
  • 前言:
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
    本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司。
    本标准主要起草人:何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东。
  • 适用范围:
    本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。
    本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
    GB/T4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氧量、氮量的测定
    GB/T4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定
    GB/T4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定
    GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
    GJB1580A 变形金属超声检验方法
    YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
    YS/T891 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
    YS/T892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 1031 GB/T 4698.7 GB/T 4698.14 GB/T 4698.15 GB/T 6394 GJB 1580A YS/T 837 YS/T 891 YS/T 892
相关部门
  • 起草单位:
    有研亿金新材料股份有限公司 宁波江丰电子材料有限公司
相关人员
暂无
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