收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
High-purity sputtering titanium target used in electronic film
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
钛产品（77.150.50）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
稀有轻金属及其合金（H64）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司。
本标准主要起草人:何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东。
-
适用范围：
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氧量、氮量的测定
GB/T4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定
GB/T4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T891 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 746.11-2010
无铅锡基焊料化学分析方法 第11部分：镉含量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 853-2012
锆及锆合金铸件
-
YS/T 1157.4-2016
粗氢氧化钴化学分析方法 第4部分：锰量的测定 电位滴定法
-
YS/T 244.1-2008
高纯铝化学分析方法 第1部分：邻二氮杂菲-硫氰酸盐光度法测定铁含量
-
YS/T 520.11-2007
镓化学分析方法 第11部分：汞含量的测定 冷原子吸收光谱法
-
YS/T 20-1991
搭接式梭式矿车技术条件
-
YS/T 1492-2021
铂/二氧化钛
-
YS/T 1467.7-2021
铪化学分析方法 第7部分：硅量的测定
-
YS/T 528-2013
铝包镍复合粉
-
YS 41-1992
铍片
-
YS/T 424.2-2000
二硼化钛粉末化学分析方法 总硼量的测定
-
YS/T 890-2013
粉末冶金用再生钴粉
-
YS/T 1314.2-2019
铜冶炼分银渣化学分析方法 第2部分：铂和钯含量的测定 火试金法富集-电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 1320.2-2019
四氯钯酸钠化学分析方法 第2部分：铜、铅、镍、铂、镉、铁、金含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 244.4-2008
高纯铝化学分析方法 第4部分：丁基罗丹明B光度法测定镓含量
-
YS/T 871-2013
高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
-
YS/T 466-2003
铜板带箔材耐热性能试验方法 硬度法
-
YS/T 223-1996
硒
-
YS/T 121.1-1992
有色金属加工企业火焰反射熔炼炉热平衡测试与计算方法
-
YS/T 226.3-2009
硒化学分析方法 第3部分：铝量的测定 铬天青S-溴代十六烷基吡啶分光光度法
打开设置，点击
执行注册
