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GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
化工综合（G00/09）
基础标准与通用方法（G04）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》。
本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准负责起草单位:中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
本标准主要起草人:陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。
-
适用范围：
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射深度可达几微米。
-
引用标准：
暂无
相关标准
相关部门
-
起草单位：
中国科学院大连化学物理研究所
浙江大学
中山大学
-
归口单位：
38)
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
-
主管部门：
38)
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
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