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GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 29557-2013
  • 名称：
    表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2013-07-19
  • 实施日期：
    2014-03-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《民用建筑燃气安全技术条件》等186项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准使用翻译法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》。
    本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
    本标准负责起草单位:中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
    本标准主要起草人:陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。
  • 适用范围：
    本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
    本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射深度可达几微米。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 采用标准：
    ISO/TR 15969:2001 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 起草单位：
    中国科学院大连化学物理研究所 浙江大学 中山大学
  • 归口单位：
    38) 全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
  • 主管部门：
    38) 全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
相关人员
暂无
关联标准