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GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry基本信息
- 标准号:GB/T 29851-2013
- 名称:光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
- 英文名称:Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2013-11-12
- 实施日期:2014-04-15
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。
本标准主要起草人:何友琴、马农农、王东雪、何秀坤、裴会川、冯亚彬、张雪囡。 - 适用范围:本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析,其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其他受主杂质的测量也可参照本标准。 - 引用标准:暂无
相关标准
暂无
相关部门
- 起草单位:中国电子技术标准化研究院 天津市环欧半导体材料技术有限公司 信息产业专用材料质量监督检验中心 国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心
- 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
- 主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
相关人员
暂无
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