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GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
基本信息
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标准号:
GB/T 29851-2013
-
名称:
光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
-
英文名称:
Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
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状态:
现行
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类型:
国家标准
-
性质:
推荐性
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发布日期:
2013-11-12
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实施日期:
2014-04-15
-
废止日期:
暂无
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相关公告:
实施公告【关于批准发布《坑木》等194项国家标准的公告】
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分类信息
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ICS分类:
【
电气工程(29)
半导体材料(29.045)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
半金属与半导体材料(H80/84)
元素半导体材料(H82)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。
本标准主要起草人:何友琴、马农农、王东雪、何秀坤、裴会川、冯亚彬、张雪囡。
-
适用范围:
本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析,其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其他受主杂质的测量也可参照本标准。
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引用标准:
暂无
相关标准
相关部门
-
起草单位:
中国电子技术标准化研究院
天津市环欧半导体材料技术有限公司
信息产业专用材料质量监督检验中心
国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心
-
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
-
主管部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
相关人员
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