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GB/T 29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则
Guide for final assembly, packaging,transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment
基本信息
-
标准号：
GB/T 29845-2013
-
名称：
半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则
-
英文名称：
Guide for final assembly, packaging,transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment
-
状态：
现行
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类型：
国家标准
-
性质：
推荐性
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发布日期：
2013-11-12
-
实施日期：
2014-04-15
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《坑木》等194项国家标准的公告】
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分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
电子产品生产设备（31.550）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
电子工业生产设备综合（L95）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司。
本标准主要起草人:黄英华、刘军、吴良军、钟华、周历群、冯亚彬。
-
适用范围：
本标准给出了半导体制造设备（SME）在供应商工厂的最终装配（总装）、包装、运输以及在客户洁净室生产区的拆包和安放等特定活动指南。
本标准适用于半导体制造设备、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配（总装）、包装和运输以及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程。
本标准不包含与环境、健康和安全（EHS）相关的特殊要求，也不适用于与晶片粒子或晶片质量（如离子污染度）相关的加工过程规范。
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引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
SEMIC41 2-丙醇的规范和指南(SpecificationandGuidelinesfor2-propanol)
SEMIF63 半导体加工用超纯水指南(GuidelinesforUltrapureWaterUsedinSemiconductor processing)
相关标准
相关部门
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归口单位：
203)
全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC
-
主管部门：
203)
全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC
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起草单位：
工业和信息化部电子工业标准化研究院
北京七星华创电子股份有限公司
相关人员
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