收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
电子学(31)
电子技术专用材料(31.030)
】
-
CCS分类:
【
电子元器件与信息技术(L)
电子设备与专用材料、零件、结构件(L90/94)
电子技术专用材料(L90)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:上海华虹NEC电子有限公司。
本标准主要起草人:王雷、伍强、朱骏、陈宝钦。
-
适用范围:
本标准规定了用于先进集成电路光刻工艺综合评估的标准测试图形单元的形状、一般尺寸,以及推荐的布局和设计规则,这些标准测试图形包括可供光学显微镜和扫描电子显微镜用的各种图形单元。
本标准适用集成电路的工艺、常规掩模版、光致抗蚀剂和光刻机的特征和能力作出评价及交替移相掩模版相位测量,适用于g线、i线、KrF、ArF等波长的光刻设备及相应的光刻工艺。
-
引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T16878—1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
SJ/T10584—1994 微电子学光掩蔽技术术语
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 5593-1996
电子元器件结构陶瓷材料
-
GB/T 16822-1997
介电晶体介电性能的试验方法
-
SJ/T 11246-2014
真空开关管用陶瓷管壳
-
GB 11446.2-1989
电子级水术语
-
GB/T 37275-2018
掺钕钇铝石榴石激光棒激光阈值及斜率效率测量方法
-
GB/T 4314-2000
吸气剂术语
-
GB/T 32644-2016
平板显示器基板玻璃化学耐久性的试验方法
-
GB 11297.5-1989
掺钕钇铝石榴石激光棒连续激光阈值、斜率效率和输出功率的测量方法
-
SJ/T 11110-2016
银电镀层规范
-
GB/T 18791-2002
电子和电气陶瓷性能试验方法
-
SJ/T 3328.6-2016
电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定
-
GB/T 11446.3-1997
电子级水测试方法通则
-
SJ/T 11636-2016
电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法
-
GB/T 14015-1992
硅-蓝宝石外延片
-
GB/T 5598-2015
氧化铍瓷导热系数测定方法
-
JB/T 9499.3-1999
康铜电阻合金化学分析方法 过硫酸铵氧化-硫酸亚铁铵滴定法测定锰量
-
GB/T 36595-2018
纳米钛酸钡
-
JB/T 9499.5-1999
康铜电阻合金化学分析方法 电解除铜-EDTA滴定法测定镍量
-
JB/T 9499.7-1999
康铜电阻合金化学分析方法 硅钼兰光度法测定硅量
-
GB/T 5594.7-1985
电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 透液性测定方法