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GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
High-Purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
铝和铝合金（77.120.10）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
轻金属及其合金（H61）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司。
本标准参加起草单位:宁波江丰电子材料有限公司、新疆众和股份有限公司。
本标准主要起草人:万小勇、罗俊锋、廖赞、尚再艳、杨华、朱晓光、孙秀霖、何金江、熊晓东、王兴权、王学泽、钱红兵、喻洁、刘杰、洪涛、努力古、宋玉萍。
-
适用范围：
本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单（或合同）等内容。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材（以下简称铝靶）。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本标准。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本标准。
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