GB/T 11446.9-2013

电子级水中微粒的仪器测试方法

Test method for particles in electronic grade water by instrument

2013-12-31

2014-08-15

暂无

实施公告【关于批准发布《化学试剂甲醛溶液》等567项国家标准和45项国家标准样品的公告】

GB/T11446预计结构如下:
———GB/T11446.1 电子级水;
———GB/T11446.2 (待定);
———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则;
———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法;
———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;
———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法;
———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法;
———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法;
———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法;
———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。
本部分为GB/T11446的第9部分。
本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本部分代替GB/T11446.9—1997《电子级水中微粒的仪器测试方法》。
本部分与GB/T11446.9—1997相比,主要有下列变化:
———重新对“3.1微粒”进行了定义(见第3章);
———增加了“5干扰因素”(见第5章);
———删除了“11注意事项”(见1997年版的第11章);
———修订了Pi 的定义。
本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。
本部分由中国电子技术标准化研究院归口。
本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
本部分主要起草人:王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T11446.9—1989、GB/T11446.9—1997。

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05 μm，微粒的浓度范围为0~10 000个/mL。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T11446.1—2013 电子级水
GB/T11446.3—2013 电子级水测试方法通则

GB/T 11446.1-2013 GB/T 11446.3-2013

中国电子技术标准化研究院 中国电子科技集团公司第四十六研究所 中国科学院半导体研究所 信息产业部专用材料质量监督检验中心