GB/T 11446.1-2013

电子级水

Electronic grade water

现行

国家标准

推荐性

2013-12-31

2014-08-15

暂无

实施公告【关于批准发布《化学试剂甲醛溶液》等567项国家标准和45项国家标准样品的公告】

暂无

GB/T11446预计结构如下:
———GB/T11446.1 电子级水;
———GB/T11446.2 (待定);
———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则;
———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法;
———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;
———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法;
———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法;
———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法;
———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法;
———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。
本部分为GB/T11446的第1部分。
本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本部分代替GB/T11446.1—1997《电子级水》。
本部分与GB/T11446.1—1997相比,主要有下列变化:
———“3术语和定义”中增加了“离子交换树脂”、“无菌”和“pH”的定义(见第3章);
———修改了“5要求”中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”级水的电阻率指标(见第5章);
———修订了“5要求”中“EW-Ⅰ”、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”级水的微粒数指标(见第5章);
———“5要求”中增加了“铁”和“铅”金属离子及“氟”、“亚硝酸根”和“溴”阴离子的要求和指标(见第5章);
———“6 试验方法”中增加了“铁”、“铅”、“氟离子”、“亚硝酸根离子”和“溴离子”的检测方法(见第6章)。
本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。
本部分由中国电子技术标准化研究院归口。
本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
本部分主要起草人:褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T11446.1—1989、GB/T11446.1—1997。

GB/T 11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。
本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T11446.3—2013 电子级水测试方法通则
GB/T11446.4—2013 电子级水电阻率的测试方法
GB/T11446.5—2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T11446.6—2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T11446.7—2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
GB/T11446.8—2013 电子级水中总有机碳的测试方法
GB/T11446.9—2013 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T11446.10—2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

GB/T 11446.1-1997

GB/T 11446.3-2013 GB/T 11446.4-2013 GB/T 11446.5-2013 GB/T 11446.6-2013 GB/T 11446.7-2013 GB/T 11446.8-2013 GB/T 11446.9-2013 GB/T 11446.10-2013

中国电子技术标准化研究院

中国电子技术标准化研究院

中国电子技术标准化研究院 中国电子科技集团公司第四十六研究所 中国科学院半导体研究所 信息产业部专用材料质量监督检验中心