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JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

基本信息
  • 标准号：
    JB/T 12067-2014
  • 名称：
    TDL-GX硅芯生长炉
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2014-07-14
  • 实施日期：
    2014-11-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2014年第12号(总第180号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。
    本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    西安电炉研究所有限公司 西安理工晶体科技有限公司等
相关人员
暂无
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