GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准号：
GB/T 30701-2014
名称：
表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
英文名称：
Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
状态：
现行
类型：
国家标准
性质：
推荐性
发布日期：
2014-03-27
实施日期：
2014-12-01
废止日期：
暂无
相关公告：
实施公告【关于批准发布《水泥密度测定方法》等127项国家标准的公告】
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分类信息
ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
】
CCS分类：
【
化工（G）
化工综合（G00/09）
基础标准与通用方法（G04）
】
行标分类：
暂无
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
适用范围：
本标准规定了硅片工作标准样品表面元素铁和/或镍的化学收集方法（气相分解法或直接酸性液滴分解法）和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定。
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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