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JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

Quartz tube covered in a film for PECVD
基本信息
  • 标准号：
    JC/T 2243-2014
  • 名称：
    等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
  • 英文名称：
    Quartz tube covered in a film for PECVD
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2014-10-14
  • 实施日期：
    2015-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2014年第12号(总第180号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 玻璃和陶瓷工业（81） 玻璃（81.040） 玻璃产品（81.040.30） 】
  • CCS分类：
    【 建材（Q） 陶瓷、玻璃（Q30/39） 石英玻璃（Q35） 】
  • 行标分类：
    【 建材（JC） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
    本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。
  • 引用标准：
    暂无
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暂无
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  • 起草单位：
    久智光电子材料科技有限公司 上海强华石英有限公司 上海神舟新能源发展有限公司
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暂无
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