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YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定
Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane—Determination of methyldichlorosilane
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料化学分析（77.040.30）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。
本标准参加起草单位:乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、新特能源股份有限公司。
本标准主要起草人:敖细平、王波、黄代文、梁洪、刘畅、姚淑、荆凡、杨艳芬、银波、黄彬。
-
适用范围：
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。
本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%～1.00%。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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