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YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范
Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电气工程（29）
半导体材料（29.045）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
半金属与半导体材料（H80/84）
半金属与半导体材料综合（H80）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用SEMIM12-0706《晶片正面系列字母数字标志规范》。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司。
本标准主要起草人:张静、边永智、孙燕、鲁进军、楼春兰、王飞尧、何良恩、张海英。
-
适用范围：
本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。
本标准不涉及制作标记的技术。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
SEMIM13 硅片字母数字标志规范(Specificationforalphanumericmarkingofsiliconwafers)
SEMIAUX001 供方标志代码表(Listofwaferssupplieridentificationcodes)
SEMIAUX015 光学字符识别(OCR)字符集概要(SEMIOCRcharacteroutlines)
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