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YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Determination of impurities of high purity gallium oxide—Inductively coupled plasma-mass spectrmetry
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
金属材料试验(77.040)
金属材料化学分析(77.040.30)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
金属化学分析方法(H10/19)
半金属及半导体材料分析方法(H17)
】
-
行标分类:
描述信息
-
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司。
本标准主要起草人:刘爱华、孙平、种娜、郑孝桃、杨海燕、朱赞芳、陈劼、刘心君。
-
适用范围:
本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。
本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为(1×10-6)%~(4×10-5)%。
-
引用标准:
暂无
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