GB/T 30858-2014

蓝宝石单晶衬底抛光片

Polished mono-crystalline sapphire substrate product

2014-07-24

2015-04-01

暂无

实施公告【关于批准发布《电气绝缘用漆 第6部分：环保型水性浸渍漆》等123项国家标准的公告】

本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准主要起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司、浙江上城科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司。
本标准主要起草人:魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮、袁忠纯、蔡金荣。

本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单（或合同）内容。
本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片(以下简称蓝宝石衬底片)。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T6619 硅片弯曲度测试方法
GB/T6620 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T14140 硅片直径测量方法
GB/T14264 半导体材料术语
GB/T19921 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T30857 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

GB/T 1031 GB/T 1555 GB/T 2828.1 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6624 GB/T 13387 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 19921 GB/T 30857

2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 材料分技术委员会(SAC/TC

江苏吉星新材料有限公司 协鑫光电科技控股有限公司 中国科学院上海光机所 浙江昀丰新能源科技有限公司 浙江上城科技有限公司