收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
金属材料试验(77.040)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
金属理化性能试验方法(H20/29)
金属物理性能试验方法(H21)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
-
前言:
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准主要起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。
本标准主要起草人:魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮。
-
适用范围:
本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
-
引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 12967.1-1991
铝及铝合金阳极氧化 用喷磨试验仪测定阳极氧化膜的平均耐磨性
-
GB/T 13301-1991
金属材料电阻应变灵敏系数试验方法
-
GB/T 13012-1991
钢材直流磁性能测量方法
-
GB/T 6396-1995
复合钢板力学及工艺性能试验方法
-
GB/T 13303-1991
钢的抗氧化性能测定方法
-
YS/T 581.3-2012
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第3部分:氟含量的测定
-
SJ/T 11628-2016
太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法
-
GB/T 17170-2015
半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法
-
YS/T 464-2003
阴极铜直读光谱分析方法
-
YS/T 455.5-2003
铝箔试验方法 第5部分:铝箔的直流电组试验方法
-
YS/T 324-1994
三氧化二锑物理检验方法
-
YS/T 273.11-2006
冰晶石化学分析方法和物理性能测定方法 第11部分:X射线荧光光谱分析法测定硫含量
-
GB/T 5250-1993
可渗透烧结金属材料 流体渗透性的测定
-
GB/T 14140.1-1993
硅片直径测量方法 光学投影法
-
YS/T 581.4-2006
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第4部分:EDTA容量法测定铝含量
-
GB/T 3493-1983
贵金属及其合金细丝直径测量方法 (称重法)
-
SN/T 2047-2008
进口铜精矿中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
GB/T 1482-1984
金属粉末流动性的测定 标准漏斗法 (霍尔流速计)
-
YS/T 1161.3-2016
拟薄水铝石分析方法 第3部分:孔容和比表面积的测定 氮吸附法
-
SN/T 2082-2008
冷轧薄钢板洛氏硬度(HRB)试验方法