收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准主要起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。
本标准主要起草人:魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮。
-
适用范围：
本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 11112-1989
有色金属大气腐蚀试验方法
-
YB/T 5360-2006
金属材料定量极图的测定
-
GB/T 8753.1-2005
铝及铝合金阳极氧化 氧化膜封孔质量的评定方法 第1部分:无硝酸预浸的磷铬酸法
-
GB/T 4104-2003
直接法氧化锌白度(颜色)检验方法
-
GB/T 26068-2018
硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
-
GB/T 4104-2017
直接法氧化锌白度检验方法
-
GB/T 5252-1985
锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
-
GB 2523-1990
冷轧薄钢板(带)表面粗糙度 测量方法
-
GB/T 8761-1988
氧化钇、氧化铕粒度分布测定 光透沉降法
-
GB/T 6618-1995
硅片厚度和总厚度变化测试方法
-
GB/T 17473.3-1998
厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
-
YB/T 4003-1997
连铸钢板坯低倍组织缺陷评级图
-
GB/T 28871-2012
铌三锡（Nb3Sn）复合超导体的直流临界电流测量
-
GB/T 6624-1995
硅抛光片表面质量目测检验方法
-
GB/T 3171.1-1982
铝粉松装密度的测定 漏斗法
-
GB/T 8753.3-2005
铝及铝合金阳极氧化 氧化膜封孔质量的评定方法 第3部分:导纳法
-
GB/T 5252-2006
锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
-
GB/T 37207-2018
镍钴锰酸锂电化学性能测试 放电平台容量比率及循环寿命测试方法
-
GB/T 3217-1992
永磁(硬磁)材料磁性试验方法
-
GB/T 11107-2018
金属及其化合物粉末 比表面积和粒度测定 空气透过法
打开设置，点击
执行注册
