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GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 30857-2014
  • 名称：
    蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
  • 英文名称：
    Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2014-07-24
  • 实施日期：
    2015-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《电气绝缘用漆 第6部分：环保型水性浸渍漆》等123项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
    本标准主要起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。
    本标准主要起草人:魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮。
  • 适用范围：
    本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
    本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 14264
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 材料分技术委员会(SAC/TC
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    协鑫光电科技控股有限公司 中国科学院上海光机所 浙江昀丰新能源科技有限公司
相关人员
暂无
关联标准