收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
计量学和测量、物理现象（17）
长度和角度测量（17.040）
表面特征（17.040.20）
】
-
CCS分类：
【
机械（J）
机械综合（J00/09）
基础标准与通用方法（J04）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。
-
适用范围：
本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T27760—2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法。
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
ZB J 04004-1987
射线照象探伤方法
-
GB/T 11349.1-1989
机械导纳的试验确定 基本定义与传感器
-
SN/T 2838.2-2011
进出口机电产品检验专业通用要求 第2部分：术语和定义
-
GB/T 15621-1995
机械产品环境技术要求 矿山环境用
-
GB/T 36439-2018
无损检测 航空无损检测人员资格鉴定与认证
-
GB/T 15757-1995
表面缺陷 术语
-
GB/T 11259-2008
无损检测 超声检测用钢参考试块的制作与检验方法
-
GB/T 24635.4-2020
产品几何技术规范（GPS） 坐标测量机（CMM） 确定测量不确定度的技术 第4部分：应用仿真技术评估特定任务的测量不确定度
-
GB/T 5616-2014
无损检测 应用导则
-
GB/T 18229-2000
CAD工程制图规则
-
GB/T 23901.2-2019
无损检测 射线照相检测图像质量 第2部分：阶梯孔型像质计像质值的测定
-
GB/T 24741.1-2009
技术制图 紧固组合的简化表示法 第1部分：一般原则
-
GB/T 31020-2014
移动实验室移动特性
-
GB/T 7920.6-1987
桩工机械术语
-
GB/T 35351-2017
增材制造 术语
-
GB/T 41105.1-2021
无损检测 X射线管电压的测量和评价 第1部分：分压法
-
GB/T 32073-2015
无损检测 残余应力超声临界折射纵波检测方法
-
GB/T 16857.5-2004
产品几何量技术规范(GPS) 坐标测量机的验收检测和复检检测 第5部分:使用多探针探测系统的坐标测量机
-
GB/T 5796.2-2022
梯形螺纹 第2部分：直径与螺距系列
-
GB/T 5371-1985
公差与配合 过盈配合的计算和选用
打开设置，点击
执行注册
