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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
计量学和测量、物理现象（17）
长度和角度测量（17.040）
表面特征（17.040.20）
】
-
CCS分类：
【
机械（J）
机械综合（J00/09）
基础标准与通用方法（J04）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。
-
适用范围：
本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T27760—2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法。
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