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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由中国科学院提出。
    本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
    本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
    本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。
  • 适用范围：
    本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
    本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
    其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T27760—2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法。
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 27760-2011
相关部门
  • 提出部门：
    中国科学院
  • 起草单位：
    上海交通大学 纳米技术及应用国家工程研究中心
  • 归口单位：
    全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
相关人员
暂无
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