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GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉
Basic specifications for electroheat installations―Part 410: Single crystal growing furnace
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
机械制造(25)
工业炉(25.180)
电炉(25.180.10)
】
-
CCS分类:
【
电工(K)
电气设备与器具(K60/69)
工业电热设备(K61)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
-
前言:
GB/T10067《电热装置基本技术条件》现有19个部分:
———第1部分:通用部分;
———第2部分:电弧加热装置;
———第3部分:感应电热装置;
———第31部分:中频无心感应炉;
———第32部分:电压型变频多台中频无心感应炉成套装置;
———第33部分:工频无心感应熔铜炉;
———第4部分:间接电阻炉;
———第41部分:网带式电阻加热机组;
———第42部分:推送式电阻加热机组;
———第43部分:强迫对流井式电阻炉;
———第44部分:箱式电阻炉;
———第45部分:真空淬火炉;
———第46部分:罩式电阻炉;
———第47部分:真空热处理和钎焊炉;
———第48部分:台车式电阻炉;
———第49部分:自然对流井式电阻炉;
———第410部分:单晶炉;
———第411部分:电热浴炉;
———第5部分:高频介质加热设备。
根据需要还将陆续制定其他部分。
本部分为 GB/T10067的第410部分,应与 GB/T10067的第1部分和第4部分配合使用。
本部分按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本部分由中国电器工业协会提出。
本部分由全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC121)归口。
本部分起草单位:西安电炉研究所有限公司、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理工晶科股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心。
本部分主要起草人:陈巨才、李留臣、袁芳兰、束天和、朱琳。
-
适用范围:
GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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GB3095—2012 环境空气质量标准
GB8702—1998 电磁辐射防护规定
GB8978—1996 污水综合排放标准
GB/T10066.1—2004 电热设备的试验方法 第1部分:通用部分
GB/T10066.4—2004 电热设备的试验方法 第4部分:间接电阻炉
GB/T10067.1—2005 电热装置基本技术条件 第1部分:通用部分
GB/T10067.4—2005 电热装置基本技术条件 第4部分:间接电阻炉
GB12348—2008 工业企业厂界环境噪声排放标准
GB16297—1996 大气污染物综合排放标准
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