GB/T 31058-2014

电子工业用气体 四氟化硅

Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride

现行

国家标准

推荐性

2014-12-22

2015-07-01

暂无

实施公告【关于批准发布《乘用车燃料消耗量限值》等106项国家标准的公告】

暂无

本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人:邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云。

本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF4。相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB5099 钢质无缝气瓶
GB7144 气瓶颜色标志
GB14194 永久气体充装规定
GBl5258 化学品安全标签编写规定
GB16804 气瓶警示标签
GB/T26571 特种气体储存期规范
GB/T28726—2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T28727 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)

GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB 7144 GB 14194 GB l5258 GB 16804 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 GB/T 28727 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版)

西南化工研究设计院有限公司 贵州大学 上海华爱色谱分析技术有限公司 佛山市华特气体有限公司 核工业理化工程研究院华核新技术开发公司 绿菱电子材料(天津)有限公司

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

国家标准化管理委员会