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GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯

Gases for electronic industry―High purity chlorine
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 18994-2014
  • 名称:
    电子工业用气体 高纯氯
  • 英文名称:
    Gases for electronic industry―High purity chlorine
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2014-12-22
  • 实施日期:
    2015-07-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准代替 GB/T18994—2003《电子工业用气体 高纯氯》。与 GB/T18994—2003相比,除编辑性修改外主要技术内容变化如下:
    ———修改了范围(见第1章,2003年版的第1章);
    ———修改了规范性引用文件(见第2章,2003年版的第2章);
    ———修改了技术要求(见第3章,2003年版的第3章);
    ———修改了抽样、判定(见4.1,2003年版的第5章);
    ———删去了取样装置的规定(2003年版的4.1);
    ———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见4.3,2003年版的4.3、4.4);
    ———增加了氢含量的测定方法(见4.3);
    ———修改了水分含量的测定方法(见4.4,2003年版的4.5);
    ———增加了金属元素含量的测定方法(见4.5);
    ———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2003年版的第6、7章)。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
    本标准起草单位:西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司。
    本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。
    本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
    ———GB/T18994—2003。
  • 适用范围:
    本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。
    本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
    分子式:Cl2。
    相对分子质量:70.90(按2009年国际相对原子质量计算)。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB190 危险货物包装标志
    GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
    GB5099 钢质无缝气瓶
    GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
    GB7144 气瓶颜色标志
    GB11984 氯气安全规程
    GB14193 液化气体气瓶充装规定
    GB15258 化学品安全标签编写规定
    GB16804 气瓶警示标签
    GB/T26571 特种气体储存期规范
    GB/T28726—2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
    气瓶安全监察规程(2000版)
    危险化学品安全管理条例(2002版)
    特种设备安全监察条例(2009版)
相关标准
  • 代替标准:
    GB/T 18994-2003
  • 引用标准:
    GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB/T 5832.3 GB 7144 GB 11984 GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版)
相关部门
  • 起草单位:
    西南化工研究设计院有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 佛山市华特气体有限公司 光明化工研究设计院有限公司 上海仪盟科技有限公司 太和气体(荆州)有限公司
  • 归口单位:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无