GB/T 14602-2014

电子工业用气体 氯化氢

Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

现行

国家标准

推荐性

2014-12-22

2015-07-01

暂无

实施公告【关于批准发布《乘用车燃料消耗量限值》等106项国家标准的公告】

暂无

本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替 GB/T14602—1993《电子工业用气体 氯化氢》、GB/T24469—2009《电子工业用气体 5N氯化氢》。与 GB/T14602—1993、GB/T24469—2009相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:
———修改了范围(见第1章,1993年版的第1章、GB/T24469—2009的第1章);
———修改了规范性引用文件(见第2章,1993年版的第2章、GB/T24469—2009的第2章);
———修改了技术要求(见第3章,1993年版的第3章、GB/T24469—2009的第3章);
———修改了抽样、判定(见4.1,1993年版的第5章、GB/T24469—2009的第5章);
———修改了氧+ 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见 4.3,1993 年版的 4.2、4.3、GB/T24469—2009的4.3、4.5);
———删除了氢含量的测定方法(见1993年版的4.5);
———修改了水分含量的测定方法(见4.4,1993年版的4.4、GB/T24469—2009的4.4);
———修改了金属元素含量的测定方法(见4.5,GB/T24469—2009的4.6);
———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,1993年版的第6章、第7章、GB/T24469—2009的第6章、第7章、第8章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司。
本标准主要起草人:张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T14602—1993、GB/T24469—2009。

本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB5099 钢质无缝气瓶
GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB7144 气瓶颜色标志
GB14193 液化气体气瓶充装规定
GBl5258 化学品安全标签编写规定
GB16804 气瓶警示标签
GB/T26571 特种气体储存期规范
GB/T28726—2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)

GB/T 24469-2009 GB/T 14602-1993

GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB/T 5832.3 GB 7144 GB 14193 GB l5258 GB 16804 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版)

西南化工研究设计院有限公司 北京华宇同方化工科技开发有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 佛山市华特气体有限公司 光明化工研究设计院有限公司 上海仪盟科技有限公司

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

国家标准化管理委员会