收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
Test method for lattice constant of III-nitride epitaxial layers
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料无损检测（77.040.20）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院半导体研究所。
本标准主要起草人:孙宝娟、赵丽霞、王军喜、曾一平、李晋闽。
-
适用范围：
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试Ⅲ族氮化物外延片晶格常数的方法。
本标准适用于在氧化物衬底（Al2O3、ZnO等）或半导体衬底（GaN、Si、GaAs、SiC等）上外延生长的氮化物(Ga, In, Al)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。
-
引用标准：
暂无
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 22586-2008
高温超导薄膜微波表面电阻测试
-
YS/T 1002-2014
铝电解阳极效应系数和效应持续时间的计算方法
-
YB/T 951-2003
钢轨超声波探伤方法
-
YS/T 455.6-2003
铝箔试验方法 第6部分：铝箔其它相关试验方法
-
GB/T 20935.2-2009
金属材料电磁超声检验方法 第2部分：利用电磁超声换能器技术进行超声检测的方法
-
GB/T 36705-2018
氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
-
NB/T 47013.3-2015
承压设备无损检测 第3部分:超声检测
-
GB/T 34485-2017
锆及锆合金加工产品超声波检测方法
-
GB/T 7736-2008
钢的低倍缺陷超声波检验法
-
GB/T 8757-1988
砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法
-
YS/T 864-2013
铜及铜合金板带箔材表面清洁度检验方法
-
GB/T 3651-2008
金属高温导热系数测量方法
-
GB/T 19346.2-2017
非晶纳米晶合金测试方法 第2部分：带材叠片系数
-
GB/T 1552-1995
硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法
-
GB/T 8754-1988
铝及铝合金阳极氧化 应用击穿电位测定法检验绝缘性
-
YS/T 366-1994
贵金属及其合金材料对铜热电势测量方法
-
GB/T 5677-1985
铸钢件射线照相及底片等级分类方法
-
GB/T 8753.4-2005
铝及铝合金阳极氧化 氧化膜封孔质量的评定方法 第4部分:酸处理后的染色斑点法
-
YS/T 273.10-2006
冰晶石化学分析方法和物理性能测定方法 第10部分：重量法测定游离氧化铝含量
-
YS/T 581.5-2006
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第5部分：火焰原子吸收光谱法测定钠含量
打开设置，点击
执行注册
