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GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilane for silicon epitaxial
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 30652-2014
  • 名称：
    硅外延用三氯氢硅
  • 英文名称：
    Trichlorosilane for silicon epitaxial
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2014-12-31
  • 实施日期：
    2015-09-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《复合橡胶 通用技术规范》等107项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
    本标准起草单位:中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。
    本标准主要起草人:柯尊斌、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙。
  • 适用范围：
    本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单 (或合同)内容。
    本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB190 危险货物包装标志
    GB/T191 包装储运图示标志
    GB16483 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序
    GB28654 工业三氯氢硅
    GB/T29056 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
    YS/T987 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
    国务院令第591号 危险化学品安全管理条例
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 191 GB 16483 GB 28654 GB/T 29056 YS/T 987 国务院令第591号　危险化学品安全管理条例
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 起草单位：
    南京国盛电子有限公司 中锗科技有限公司 南京中锗科技股份有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准