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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
Chemical vapor deposition furnace
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
-
CCS分类：
【
冶金（H）
冶金机械设备（H90/99）
炼焦、烧结设备（H91）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。
-
适用范围：
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于化学气相沉积。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T3163—2007 真空技术 术语
GB5959.1 电热装置的安全 第1部分:通用要求
GB5959.4 电热装置的安全 第4部分:对电阻加热装置的特殊要求
GB/T10066.1—2004 电热设备的试验方法 第1部分:通用部分
GB/T10066.4—2004 电热设备的试验方法 第4部分:间接电阻炉
GB/T10067.1—2005 电热装置基本技术条件 第1部分:通用部分
GB/T10067.4—2005 电热装置基本技术条件 第4部分:间接电阻炉
JB/T10550—2006 真空技术 真空烧结炉
YS/T778—2011 真空脱脂烧结炉
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