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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

Chemical vapor deposition furnace
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 1031-2015
  • 名称：
    化学气相沉积炉
  • 英文名称：
    Chemical vapor deposition furnace
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-04-30
  • 实施日期：
    2015-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第7号(总第187号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
    本标准起草单位:湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
    本标准主要起草人:戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。
  • 适用范围：
    本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
    本标准适用于化学气相沉积。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T3163—2007 真空技术 术语
    GB5959.1 电热装置的安全 第1部分:通用要求
    GB5959.4 电热装置的安全 第4部分:对电阻加热装置的特殊要求
    GB/T10066.1—2004 电热设备的试验方法 第1部分:通用部分
    GB/T10066.4—2004 电热设备的试验方法 第4部分:间接电阻炉
    GB/T10067.1—2005 电热装置基本技术条件 第1部分:通用部分
    GB/T10067.4—2005 电热装置基本技术条件 第4部分:间接电阻炉
    JB/T10550—2006 真空技术 真空烧结炉
    YS/T778—2011 真空脱脂烧结炉
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 3163-2007 GB 5959.1 GB 5959.4 GB/T 10066.1-2004 GB/T 10066.4-2004 GB/T 10067.1-2005 GB/T 10067.4-2005 JB/T 10550-2006 YS/T 778-2011
相关部门
  • 起草单位：
    中国有色金属工业标准计量质量研究所 湖南顶立科技有限公司
相关人员
暂无
关联标准