收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
High-purity tungsten and tungsten alloy sputtering target used in electronic film
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
其他有色金属产品（77.150.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
稀有高熔点金属及其合金（H63）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、株洲凯特实业有限公司、西安方科新材料科技有限公司。
本标准主要起草人:姚力军、王学泽、丁照崇、张涛、扶元初、袁海军、郑文翔、宋佳、苏国平、钱红兵、袁洁、王兴权、张玉利、王越、杜铁路。
-
适用范围：
本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材以下简称高纯钨及钨合金靶。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
GB/T4324.23 钨化学分析方法 第23部分:硫量的测定 燃烧电导法和高频燃烧红外吸收法
GB/T4324.25 钨化学分析方法 第25部分:氧量的测定 脉冲加热惰气熔融-红外吸收法
GB/T4324.26 钨化学分析方法 第26部分:氮量的测定 脉冲加热惰气熔融-热导法和奈氏试剂分光光度法
GB/T4324.27 钨化学分析方法 第27部分:碳量的测定 高频燃烧红外吸收法
GB/T6394 金属平均晶粒度测定法
GB/T8651 金属板材超声波板探伤方法
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T900 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T901 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 710.2-2009
氧化钴化学分析方法 第2部分：钠量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 1166-2016
高纯四氯化锗红外透过率的测定方法
-
YS/T 519.3-2009
砷化学分析方法 第3部分：硫量的测定 硫酸钡重量法
-
YS/T 445.10-2019
银精矿化学分析方法 第10部分：锑含量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法和火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 1314.2-2019
铜冶炼分银渣化学分析方法 第2部分：铂和钯含量的测定 火试金法富集-电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 301-2007
钴精矿
-
YS/T 223-1996
硒
-
YS/T 524-2006
合成白钨技术条件
-
YS/T 690-2009
天花吊顶用铝及铝合金板、带材
-
YS/T 1158.2-2016
铜铟镓硒靶材化学分析方法 第2部分：硒量的测定 重量法
-
YS/T 578-2006
氟钽酸钾
-
YS/T 455.4-2003
铝箔试验方法 第4部分：铝箔的刷水试验方法
-
YS/T 1178-2017
铝渣物相分析X射线衍射法
-
YS/T 1301-2019
氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法
-
YS/T 555.9-2009
钼精矿化学分析方法 钾量和钠量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 3-1991
PF-NS型喷粉分配器
-
YS/T 1431-2021
钼酸盐单位产品能源消耗限额
-
YS/T 262-2011
绿柱石精矿
-
YS/T 372.11-2006
贵金属合金元素分析方法 镁量的测定 EDTA络合滴定法
-
YS/T 1078-2015
钒铝锡铬中间合金
打开设置，点击
执行注册
