收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材
Tantalum sputtering targets
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
其他有色金属产品（77.150.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
稀有高熔点金属及其合金（H63）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司。
本标准主要起草人:钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路。
-
适用范围：
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T4340.1 金属材料 维氏硬度试验 第1部分:试验方法
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T8651 金属板材超声板波探伤方法
GB/T15076.8 钽铌化学分析方法 碳量和硫量的测定
GB/T15076.13 钽铌化学分析方法 钽中氮量的测定
GB/T15076.14 钽铌化学分析方法 氧量的测定
GB/T15076.15 钽铌化学分析方法 氢量的测定
GB/T20967—2007 无损检测 目视检测 总则
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T899 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 3035-2017
金矿原始岩温测定技术规范
-
YS/T 820.23-2012
红土镍矿化学分析方法 第23部分: 钴、铁、镍、磷、氧化铝、氧化钙、氧化铬、氧化镁、氧化锰、二氧化硅和二氧化钛量的测定 波长色散X射线荧光光谱法
-
YS/T 276.5-2011
铟化学分析方法 第5部分：铁量的测定 方法1：电热原子吸收光谱法 方法2：火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 121.4-1992
有色金属加工企业火焰加热炉及退火炉热平衡测试与计算方法
-
YS/T 1039-2015
挠性印制线路板用压延铜箔
-
YS/T 619-2007
化学品氧化铝分类及牌号命名
-
YS/T 682-2008
钌粉
-
GB/T 4324.5-2012
钨化学分析方法 第5部分：砷量的测定 氢化物原子吸收光谱法
-
YS/T 113-1992
选矿药剂产品能耗
-
YS/T 1299-2019
硬质合金复合轧辊
-
YS 126-1992
氧化铝生产专用设备能耗等级
-
YS/T 63.19-2012
铝用炭素材料检测方法 第19部分：灰分含量的测定
-
YS/T 746.4-2010
无铅锡基焊料化学分析方法 第4部分：铅含量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 1323-2019
四氨合硝酸铂
-
YS/T 207-2013
导电环用贵金属及其合金管材
-
YS/T 357-2015
乙硫氨酯
-
YS/T 1075.6-2015
钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第6部分：碳量的测定 高频燃烧-红外吸收法
-
YS/T 568.7-2008
氧化锆、氧化铪化学分析方法 磷量的测定 锑盐-抗坏血酸-磷钼蓝分光光度法
-
YS/T 273.10-2006
冰晶石化学分析方法和物理性能测定方法 第10部分：重量法测定游离氧化铝含量
-
GB/T 6150.8-2009
钨精矿化学分析方法 钼量的测定 硫氰酸盐分光光度法
打开设置，点击
执行注册
