收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材
Tantalum sputtering targets
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
其他有色金属产品（77.150.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
稀有高熔点金属及其合金（H63）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司。
本标准主要起草人:钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路。
-
适用范围：
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T4340.1 金属材料 维氏硬度试验 第1部分:试验方法
GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T8651 金属板材超声板波探伤方法
GB/T15076.8 钽铌化学分析方法 碳量和硫量的测定
GB/T15076.13 钽铌化学分析方法 钽中氮量的测定
GB/T15076.14 钽铌化学分析方法 氧量的测定
GB/T15076.15 钽铌化学分析方法 氢量的测定
GB/T20967—2007 无损检测 目视检测 总则
YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T899 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 1344.3-2020
掺锡氧化铟粉化学分析方法 第3部分：物相分析 X射线衍射分析法
-
YS/T 1267-2018
烧结铜铝金属间化合物柔性膜
-
YS/T 627-2013
变形镁及镁合金圆铸锭
-
YS/T 746.13-2010
无铅锡基焊料化学分析方法 第13部分：镍含量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 447.3-2011
铝及铝合金晶粒细化用合金线材 第3部分：铝-钛合金线材
-
YS/T 435-2000
易拉罐罐体用铝合金带材
-
YS/T 739.4-2021
铝电解质化学分析方法 第4部分：氧化铝含量的测定 重量法
-
YS/T 121.6-1992
有色金属加工企业推进式空气循环电阻加热炉热平衡测试与计算方法
-
YS/T 575.15-2007
铝土矿石化学分析方法 第15部分：三氧化二镓含量的测定 罗丹明B萃取光度法
-
YS/T 631-2007
锌分析方法 光电发射光谱法
-
YS/T 96-2021
散装浮选铜精矿中金、银分析取制样方法
-
YS/T 310-1995
热镀用锌合金锭
-
GB/T 1420-2015
海绵钯
-
YS/T 291-2012
标准螺栓缩径模具用硬质合金毛坯
-
YS/T 1424-2021
铜矿采选业绿色工厂评价要求
-
YS/T 74.7-2010
镉化学分析方法 第7部分：铁量的测定 1，10-二氮杂菲分光光度法
-
GB/T 3459-2006
钨条
-
YS/T 36.2-2011
高纯锡化学分析方法 第2部分：锑量的测定 孔雀绿分光光度法
-
YS/T 928.6-2013
镍、钴、锰三元素氢氧化物化学分析方法 第6部分：硫酸根离子量的测定 离子色谱法
-
YS/T 63.9-2012
铝用炭素材料检测方法 第9部分：真密度的测定 氦比重计法
打开设置，点击
执行注册
