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SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 11504-2015
  • 名称：
    碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-04-30
  • 实施日期：
    2015-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第7号(总第187号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了碳化硅单晶抛光片表面质量的目视检验方法，观察样品表面的六方孔洞、划痕、凹坑、颗粒、沾污、亮点缺陷、裂纹、崩边的数量并用钢板尺测量划痕的总长度等。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子科技集团公司第四十六研究所 工业和信息化部电子工业标准化研究院
相关人员
暂无
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