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SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 11503-2015
  • 名称：
    碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-04-30
  • 实施日期：
    2015-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第7号(总第187号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了用表面轮廓仪和原子力显微镜测定碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子科技集团公司第四十六研究所 工业和信息化部电子工业标准化研究院 北京天科合达蓝光半导体有限公司
相关人员
暂无
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