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SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

基本信息
  • 标准号:
    SJ/T 11502-2015
  • 名称:
    碳化硅单晶抛光片规范
  • 英文名称:
    暂无
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2015-04-30
  • 实施日期:
    2015-10-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    暂无
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分类信息
  • ICS分类:
    电气工程(29) 半导体材料(29.045)
  • CCS分类:
    冶金(H) 半金属与半导体材料(H80/84) 化合物半导体材料(H83)
  • 行标分类:
    电子(SJ)
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位:
    中国电子科技集团公司第四十六研究所 工业和信息化部电子工业标准化研究院等 北京天科合达蓝光半导体有限公司
相关人员
暂无
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