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SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
基本信息
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标准号：
SJ/T 11493-2015
-
名称：
硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
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英文名称：
暂无
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状态：
现行
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类型：
行业标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2015-04-30
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实施日期：
2015-10-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【2015年第7号(总第187号)】
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电气工程（29）
半导体材料（29.045）
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